Potenziale und Trends der Mikro- und Nanotechnik
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Potenziale und Trends der Mikro- und Nanotechnik : zum 10-jährigen Bestehen der GMM / [GMM, VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik]
Berlin ; Offenbach : VDE-Verl.
, 2006.ISBN: 3800729865